省經(jīng)信廳、省財政廳公布2024年度浙江省首臺（套）裝備認定結果，高新區(qū)（濱江）17家企業(yè)入圍。其中，我司自主研發(fā)的高精密控溫半導體制冷冷水機成功獲評國內首臺（套）！這一重大成果不僅展現(xiàn)了FerroTec熱電事業(yè)在半導體設備制造領域卓越的創(chuàng)新實力，也成為了我國半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化進程中的一座重要里程碑。
（注：首臺（套）裝備指的是國內實現(xiàn)重大技術突破、擁有自主知識產(chǎn)權的成套設備、整機設備及核心部件、控制系統(tǒng)、基礎材料、軟件系統(tǒng)等）
杭州濱江2024年度省級首臺（套）裝備名單
01首臺冷水機性能優(yōu)越控溫精準穩(wěn)定
冷水機10-60℃升降溫速率曲線圖
該高精密控溫半導體制冷冷水機采用我司自主研發(fā)的半導體制冷器（TEC）作為核心制冷部件。設備結構簡約精巧，可靠性極高。能夠為使用者提供10-60℃的溫度設定范圍，在長時間持續(xù)運行狀態(tài)下始終保持穩(wěn)定工況。
02首臺冷水機獲多項專利備受行業(yè)認可
國內首臺（套）高精密控溫半導體制冷冷水機
我司高精密控溫半導體式冷水機憑借其卓越的技術和可靠的性能，成功攬獲了多項國家級專利。在實際生產(chǎn)中，負責涂膠顯影工藝里水冷板、顯影液、噴頭等器件管路的溫度管理（短時間內達到目標溫度），目前已在涂膠顯影設備領域實現(xiàn)了批量應用，并憑借其出色的性能表現(xiàn)，獲得了國內主流半導體裝備廠家的高度認可。這充分證明了我司冷水機的技術實力，也彰顯了其在半導體涂膠顯影設備溫控領域的領先地位。
展望未來
我司高精密控溫半導體制冷冷水機獲評國內首臺（套），是科技創(chuàng)新征程中的一個重要里程碑。未來，F(xiàn)erroTec熱電事業(yè)將繼續(xù)加大研發(fā)投入，不斷探索新技術、新工藝，持續(xù)提升產(chǎn)品性能和品質。期待與更多行業(yè)伙伴攜手共進，共同推動半導體制冷產(chǎn)業(yè)邁向新高峰，在全球半導體市場展現(xiàn)蓬勃向前的中國力量！